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高纯氩6N (99.9999%)主要用于电子、冶金、半导体和仪器分析行业及科学研究。例如,6N以上的氩气是生产硅、GaAs、碲化镉等单晶的必要条件。和直读光谱仪的工作。陕西高纯氩价格
目前制备高纯氩气的方法有三种:1。深冷分馏,大型复杂,只适合空气分离,不适合末端净化,比如中国..(cn 1362608 a);2.合金吸气剂法,如北京有色金属研究所的“I型高纯氩气净化器”,采用锆铝合金作为杂质吸收剂,英国锡尔卡仪器有限公司生产的“MP-2000稀有气体净化器”,采用金属钛作为杂质吸收剂。由于吸附容量小,吸附剂昂贵,该方法仅适用于原料5N氩气的深度净化。3.催化脱氧分子筛脱水进行一次净化,然后用合金吸气剂进行深度净化,如中国..(CN1054232A)。但由于脱氧剂脱氧能力低,只适合以4N级氩气为原料生产6N级高纯氩气,不方便用氢气和抽真空再生。本发明与第三种方法相通,..级净化由三级净化组成,去除杂质如02;H2O和CO2通过分子筛去除,分子筛可在二次净化中自动再生。第三阶段用Zr和钛合金吸气剂去除其他杂质,从而获得6N级高纯氩气。本发明可以使用廉价的3N级氩气作为原料,再生采用成品气自动反吹的方法,克服了中国..(CN1054232A)中使用氢气和抽真空的麻烦。
根据现有技术,使用锆、钛等金属及其合金作为吸附剂,可以提纯氩气,得到6N以上的高纯氩气。然而,由于这些合金吸附剂由稀有贵金属制成,并且容易失活,因此这种方法的缺点是成本太高。
制作高纯氩的成本还是比较高的。
2021-04-17T19:04:36